광학-레이저 실험용 능동형 제진대 (VAIS-PT)

Overview  광학/레이저(Optic-Laser) 응용실험은 여러 구성요소 간의 일관성있는 위치 정밀도를 요구하는 실험으로 측정 중 바닥에서 인가되는 진동에 대한 완벽한 차단이 필요합니다.
최근, 실험 정밀도의 요구 수준이 높아짐에 따라, 광학정반 자체의 높은 강성(Compliance)과 함께 이를 지지하는 제진시스템의 공진의 영향을 최대한 억제하는 것이 요구되고 있습니다.

 VAIS-PT는 광학요소 간의 위치 정밀도에 영향을 미치는 10Hz 이하 저주파 영역의 진동을 완벽 하게 차단하여 안정적인 진동환경을 제공할 수 있도록 설계된 광학/레이저 응용실험에 최적화된 능동형 제진시스템 입니다.

Technical advantages

1. 공압식 지지프레임  VAIS-PT는 공압지지 프레임을 채용하여 설치지 주변에서 발생되는 비정상적인 충격진동에 매우 강인한 특성을 갖습니다.

2. 피드포워드 제어   피드백제어와 함께 피드포워드제어 기법이 적용 되어 10Hz이하 저주파 영역 진동입력에 우수한 차단 능력이 있습니다.

3. 직관적 상태확인   VAIS-PT 전면패널에 설치된 3개의 LED를 통하여 주변 진동상태의 확인, 고장유무 진단을 복잡한 절차 없이 직관적으로 확인할 수 있습니다.

4. 간단한 현장조치   디지털제어방식을 채용한 VAIS-PT는 능동형 제진대 상부의 무게중심 변화와 같은 운전조건 변경 시, 발생되는 문제를 고객 스스로 해결할 수 있도록 설계되었습니다.

지지프레임 공압지지프레임(4~6 units)
제어주파수 영역 0.5Hz~1000Hz
제어자유도 3축 6자유도(6 DOFs)
제어방식 Feebback & Floor Feedforward
높이조절 기계식 레벨링밸브롤 통한 자동조절
요구공압 5 bar 이상
요구전압 50~230V (별도 전압변환기 필요없음)

Dimensional Specifications

Model name Dimension of Breadboard Model name Dimension of Breadboard
PT-1010(M/I/N)-100 1000(W)X1000(L)X100(T) PT-1812(M/I/N)-200 1800(W)X1200(L)X200(T)
PT-1210(M/I/N)-100 1200(W)X1000(L)X100(T) PT-2010(M/I/N)-200 2000(W)X1000(L)X200(T)
PT-1212(M/I/N)-100 1200(W)X1200(L)X100(T) PT-2012(M/I/N)-200 2000(W)X1200(L)X200(T)
PT-1510(M/I/N)-100 1500(W)X1000(L)X100(T) PT-2410(M/I/N)-200 2400(W)X1000(L)X200(T)
PT-1512(M/I/N)-100 1500(W)X1200(L)X100(T) PT-2412(M/I/N)-200 2400(W)X1200(L)X200(T)
1. 고객의 요청에 따라 다양한 규격으로 제작 가능합니다.
2. 모델 선정방법
 PT-WD (M/I/N)-T
- WD : 광학정반(Optical Breadboard) 폭(W)X길이(D) [mm]
- M/I/N : Mounting Hole Type - M(Metric) / I(Inch) / N(No hole)
- T : 광학정반 두께 [mm]
3. 광학정반의 두께는 50~300mm까지 제작 가능합니다.
4. 광학정반 폭 1500mm이상은 두께 200mm이상을 권장합니다.

Vibration isolation performance of active isolation frame

공진주파수 영역(>1 Hz) 존재하지 않음
진동차단 성능 (Isolation efficiency)
2Hz -10dB (60% 제진)
5Hz -30dB (85% 제진)
10Hz -40dB (99% 제진)
20Hz 이상 -40dB (99% 제진)

Target Instruments

  - Optic-Laser measurement

  - AFM-Raman system

  - Interferometer

  - Precision Microscope

  - nano-Measurement & Analysis

[VAIS-PT-3615-300T]

1 / 4
2 / 4
3 / 4
4 / 4

VAIS-PT-2010-200T for NT-MDT AFM-RAMAM
VAIS-PT-2012-200T for Laser-Optic system
VAIS-PT-2010-100T for Laser-Optic system
VAIS-PT-1010-100T for NT-MDT Inverted AFM