Overview   레이저-광학 응용 실험은 구성요소 간의 일관성 있는 위치 정밀도를 요구하는 실험으로 측정 중 바닥에서 인가되는 진동에 대한 완벽한 차단이 필요합니다.
최근 실험 정밀도의 요구 수준이 높아짐에 따라 광학 정반 자체의 높은 강성(Dynamic Stiffness : Compliance)과 함께 이를 지지하는 제진시스템의 공진(Resonance)에 의한 영향을 최대한 억제하는 것이 요구되고 있습니다.

VAIS-PT는 광학요소의 위치 정밀도에 영향을 미치는 10Hz 이하 저주파 영역의 진동 외란을 완벽하게 차단하여 안정적인 진동 환경을 제공할 수 있도록 설계된 "레이저-광학 응용 실험에 최적화된 능동형 제진시스템"입니다.

1. 공압식 지지 프레임

공압식 지지 프레임이 적용된 VAIS-PT는 금속 스프링 지지 방식의 경쟁사 모델과 비교하여 설치지 주변에서 비주기적으로 인가되는 충격 진동에 훨씬 강인한 특성이 있습니다.

2. 피드포워드 제어

피드백 제어와 함께 피드포워드 제어 기법이 적용되어 10Hz 이하 저주파 영역의 진동 외란에 대한 차단 능력이 우수합니다.

3. 직관적 상태 확인

전면 패널에 설치된 3개의 LED를 통하여 주변 진동 상태의 확인 및 고장 유무 진단을 복잡한 절차 없이 직관적으로 확인할 수 있습니다.

4. 간단한 현장조치

디지털 제어 방식을 채용하여 제진대 상부의 무게중심 변화와 같은 운전조건 변경으로 발생된 문제를 고객 스스로 해결할 수 있도록 설계되었습니다.

5. 원격제어 지원

엔지니어의 방문 없이 원격 통신 프로그램을 통하여 제어 변수의 조정, 상태 진단을 원격으로 실시간 지원이 가능합니다.

프레임구조 공압(Pneumatic) 프레임
제어주파수 영역 0.5Hz ~ 1000Hz
제어자유도 3축 6자유도 (3 axis / 6 DOFs)
제어방식 Feedback & Floor Feed-Forward Control
높이조절 기계식 레벨링밸브를 통한 자동조절
필요공압 0.5 MPa 이상
필요전압 AC 90 ~ 240V / 50 ~ 60Hz

█ 표준규격 및 모델 선정방법

Model Name Dimension of Breadboard Model Name Dimension of Breadboard
PT-1010(M/I/N)-100 1000(W)X1000(L)X100(T) PT-1812(M/I/N)-200 1800(W)X1200(L)X200(T)
PT-1210(M/I/N)-100 1200(W)X1000(L)X100(T) PT-2010(M/I/N)-200 2000(W)X1000(L)X200(T)
PT-1212(M/I/N)-100 1200(W)X1200(L)X100(T) PT-2012(M/I/N)-200 2000(W)X1200(L)X200(T)
PT-1510(M/I/N)-100 1500(W)X1000(L)X100(T) PT-2410(M/I/N)-200 2400(W)X1000(L)X200(T)
PT-1512(M/I/N)-100 1500(W)X1200(L)X100(T) PT-2412(M/I/N)-200 2400(W)X1200(L)X200(T)
  1. 고객의 요청에 따라 다양한 규격으로 제작이 가능합니다.
  2. 모델 선정방법 : PT-WD (M/I/N)-T
    • WD : 광학 정반(Optical Breadboard) 폭(W) X 길이(D) [mm]
    • M/I/N : Mounting Hole Type - M(Metric) / I(Inch) / N(No hole)
    • T : 광학 정반(Optical Top) 두께
  3. 광학 정반의 두께는 50 ~ 300mm까지 제작 가능합니다.
  4. 광학 정반 폭 1500mm 이상은 두께 200mm 이상을 권장합니다.

█ 진동전달율(Transmissibility) 및 주파수영역에서의 진동차단 성능

공진주파수 영역(>1 Hz) 존재하지 않음
진동 차단 성능 (Isolation Efficiency)
2 Hz -15 dB (70% 제진)
5 Hz -30 dB (85% 제진)
10 Hz -35 dB ~ -40 dB (99% 제진)
20 Hz 이상 -35 dB ~ -40 dB (99% 제진)

1. Application note

(1) 레이저-광학 응용 실험에 널리 사용되는 광학 정반(Optical Breadboard)은 구성요소의 위치 정밀도가 매우 중요합니다. 광학 정반의 동강성과 평탄도(Flatness)와 비교하여 구성요소로 전달되는 진동 외란의 크기와 특성에 대한 관심은 상대적으로 적었습니다.

(2) 그러나, 광학 정반을 지지하는 프레임의 선정은 레이저-광학 응용 실험의 구성 및 정밀도와 매우 밀접한 관계가 있습니다. 광학 테이블에 널리 적용되고 있는 공압식 수동형 제진대는 고주파 영역 진동 차단 능력은 우수하지만, 건물 구조체의 고유 모드(Eigen Mode) 주파수 영역인 10Hz 이하의 저주파 영역의 진동 입력 차단에는 한계를 가지고 있습니다.

(3) 레이저-광학 응용 실험 전용으로 개발된 VAIS-PT는 강성과 평탄도를 고려한 광학 정반을 탑재하고 바닥을 통하여 전달되는 진동 외란을 완벽하게 차단하는 공압식 능동형 제진 프레임으로 구성된 제품입니다.

2.Target Instruments

  • Laser-Optic Measurement
  • AFM-RAMAN System
  • Interferometer
  • Precision Measurement & Analysis
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VAIS-PT-2010-200T for NT-MDT AFM-RAMAM
VAIS-PT-2012-200T for Laser-Optic system
VAIS-PT-2012-300T for Zygo Interferometer system
VAIS-PT-1010-100T for NT-MDT Inverted AFM