Overview   전자현미경 설치지 주변에서 인가되는 진동 차단을 위해 널리 사용되고 있는 공압식 수동형 제진대는 저주파 영역의 공진(Resonance) 현상으로 인하여 입력된 진동을 증폭시키는 문제가 있습니다.
비교적 진동 외란(Vibration Disturbance)에 강한 특성을 갖는 범용 주사전자현미경(Normal SEM)의 경우에도 공압식 수동형 제진대의 공진현상은 이미지 채집에 치명적인 문제가 되고 있습니다.

VAIS-CMT는 3축 6자유도 제어기술이 접목된 능동형 제진시스템입니다.
수동형제진대의 공진 문제를 완전히 제거하여 열악한 설치환경에서도 전자현미경의 최소 진동 설치기준인 IEST VC-E Class를 만족시킬 수 있는 제품입니다.
금속 스프링 지지 방식을 채용하여 별도의 압축공기 공급장치가 필요 없고, 제품의 높이가 낮아 전자현미경 운용에 불편함이 상대적으로 개선된 VAIS-CMT는 가격 경쟁력까지 갖춘 Normal SEM에 최적화된 제품입니다.

1. 간편한 설치와 이동

금속 스프링 지지 방식이 적용되어 별도의 공압공급장치가 필요 없습니다.
전원 공급장치만 준비된 장소라면 어느 곳에서도 간편하게 이동 및 설치가 가능합니다.

2. 피드포워드 제어

피드백 제어와 함께 피드포워드 제어 기법이 적용되어 저주파 영역의 진동 차단 능력이 우수합니다. 수동형 제진대에서 문제가 되는 저주파 진동 외란을 완벽하게 차단합니다.

3. 직관적 상태 확인

전면 패널에 설치된 3개의 LED는 주변 진동 환경 변화에 대한 정보를 제공하고 제품의 고장 유무 진단을 복잡한 절차 없이 직관적으로 확인할 수 있습니다.

4. 간단한 현장조치

디지털 제어 방식이 적용되어 제진대 상부의 무게중심 변화와 같은 운전조건 변경으로 발생된 문제를 고객 스스로 해결할 수 있도록 설계되었습니다.

5. 원격제어 지원

엔지니어의 방문 없이 원격 통신 프로그램을 통하여 제어 변수의 조정, 상태 진단을 원격으로 실시간 지원이 가능합니다.

모델이름 VAIS-CMT-067 VAIS-CMT-078
제품규격 [mm] 596(W) X 696(L) X 125(H) 696(W) X 796(L) X 125(H)
제품무게 [kg] 65 85
탑재하중범위 [kg]0 ~ 2000 ~ 300
상판타입 알루미늄 상판(표준) / M-6 홀가공 알루미늄 상판(선택)
제어주파수영역 [Hz] 0.5 ~ 1,000
제어자유도 3축 6자유도 (Full Active System)
제어방식 Feedback & Floor Feed-Forward Control
필요전압 AC 90 ~ 230V / 50 ~ 60Hz

█ 진동 전달율(Transmissibility) 및 주파수영역에서의 진동 차단 성능

제어 주파수 영역 0.5 ~ 1,000 Hz
진동 차단 성능 (Isolation Efficiency)
2 Hz -10dB (60% 제진)
5 Hz -30dB (93% 제진)
10 Hz -30dB ~ -35dB (95% 제진)
20 Hz 이상 -35dB (95% 제진)

1. Application note

(1) 범용 주사전자현미경(Normal SEM)을 포함한 미세계측 분석장비에 널리 적용되는 공압식 수동형 제진대는 10Hz 이하에서 형성되는 공진현상으로 인하여 목적장비의 목표 해상도를 구현하는데 문제가 있습니다.

(2) VAIS-CMT는 수동형 제진대가 갖는 공진문제를 제거하고, 설치지 주변의 주 진동원에서 전달되는 진동외란을 효율적으로 차단시켜 줍니다.

(3) 금속 코일스프링 지지방식을 채용하여 별도의 압축공기 공급장치가 필요없고, 수동형 제진대와 비교하여 제품의 높이가 낮아 목적장비 운용의 불편함을 해소하였습니다.

(4) 공압식 수동형 제진대와 비교하여 월등히 우수한 제진성능과 다양한 편의성을 갖고 가격 경쟁력까지 있습니다.

2. Target instruments

  • Normal SEM
  • Probe Station
  • 3D Surface Measurement System
  • High-Precision Optical Microscope
  • Nano Indentation System
  • Nano Measurement / Analysis Instruments
1 / 4
2 / 4
3 / 4
4 / 4

VAIS-CMT for COXEM Normal SEM SELPA
VAIS-CMT for Hitachi FlexSEM
VAIS-CMT for MS TECH Probe Station
VAIS-CMT for ALPHATEX Probe Station