Overview 나노계측용 분석장비에 널리 사용되는 수동형 제진대는 공진 주파수대역에서 입력진동을 100배까지 증폭시키는 문제가 있습니다.
고층건물의 구조 진동입력과 수동형 제진대의 고유진동수가 일치하여 발생되는 저주파 영역의 공진현상은 나노계측 분석장비 이미지에 가장 치명적인 외란요소입니다.
무게중심이 높고 중량이 큰 계측장비는 건물의 구조진동 주파수가 밀집되어 있는 저주파영역 진동입력에 상대적으로 취약하여 수동형 제진대로는 목표 성능을 구현할 수 없습니다.
VAIS-CMT는 공진문제가 없는 "고하중 나노계측장비용 능동형 제진시스템"입니다.
수동형 제진대와 비교하여 저주파영역에서 최대 300배 이상의 우수한 제진성능을 가지고 있는 VAIS-CMT는 금속스프링 지지방식을 적용하여 설치 및 운전이 간편하고 가격경쟁력까지 있습니다.
금속 스프링 지지 방식이 적용되어 별도의 공압공급장치가 필요 없습니다.
전원 공급장치만 준비된 장소라면 어느 곳에서도 간편하게 이동 및 설치가 가능합니다.
피드백 제어와 함께 피드포워드 제어 기법이 적용되어 저주파 영역의 진동 차단 능력이 우수합니다. 수동형 제진대에서 문제가 되는 저주파 진동 외란을 완벽하게 차단합니다.
전면 패널에 설치된 3개의 LED는 주변 진동 환경 변화에 대한 정보를 제공하고 제품의 고장 유무 진단을 복잡한 절차 없이 직관적으로 확인할 수 있습니다.
디지털 제어 방식이 적용되어 제진대 상부의 무게중심 변화와 같은 운전조건 변경으로 발생된 문제를 고객 스스로 해결할 수 있도록 설계되었습니다.
엔지니어의 방문 없이 제어 변수의 조정, 상태 진단의 실시간 원격지원이 가능합니다.
| 모델이름 | CMT-067 | CMT-078 | |
| 제품규격 [mm] | 596(W) X 696(L) X 125(H) | 696(W) X 796(L) X 125(H) | |
| 제품무게 [kg] | 65 | 85 | |
| 탑재하중범위 [kg] | 0 ~ 200 | 0 ~ 300 | |
| 상판타입 | 알루미늄 상판(표준) / M-6 홀가공 알루미늄 상판(선택) | ||
| 제어주파수영역 [Hz] | 0.5 ~ 1,000 | ||
| 제어자유도 | 3축 6자유도 (Full Active System) | ||
| 제어방식 | Feedback & Floor Feed-Forward Control | ||
| 필요전압 | AC 90 ~ 230V / 50 ~ 60Hz | ||
| 제어 주파수 영역 | 0.5 ~ 1,000 Hz |
| 진동 차단 성능 (Isolation Efficiency) | |
| 2 Hz | -10dB (60% 제진) |
| 5 Hz | -30dB (93% 제진) |
| 10 Hz | -30dB ~ -35dB (95% 제진) |
| 20 Hz 이상 | -35dB (95% 제진) |
(1) 무게중심이 높은 고하중 미세계측 분석장비에 널리 적용되는 공압식 수동형 제진대는 10Hz 이하에서 발생되는 공진현상으로 인하여 목적장비의 목표 해상도를 구현하는데 문제가 있습니다.
(2) VAIS-CMT는 수동형 제진대가 갖는 공진문제를 제거하고, 주변 진동원에서 전달되는 진동외란을 완벽하게 차단시켜 줍니다.
(3) 코일 스프링 지지방식을 적용하여 압축공기 공급장치가 필요없고, 수동형 제진대와 비교하여 제품의 높이가 낮아 목적장비 운용의 불편함을 해소하였습니다.
(4) 공압식 수동형 제진대와 비교하여 월등히 우수한 제진성능과 다양한 편의성을 갖고 가격 경쟁력까지 있습니다.
