Overview 하나의 분석 결과를 얻기 위하여 오랜시간을 요구하는 정밀 분석 실험은 주변 진동원에서 전파되는 진동외란을 원천적으로 차단할 필요가 있습니다.
나노단위 이미지 분석에 마이크로단위 진폭을 갖는 진동입력은 나노계측 및 분석에 가장 심각한 환경 외란 요소입니다.
목적장비의 형상과 하중을 고려한 관성질량을 선정하고, 입력진동의 주파수특성이 반영된 제진대의 설계는 무(無)진동실 공사가 단순한 토목공사와 구별되어 요구되는 부분입니다.
(주)암텍은 "국내 유일의 무진동 실험실 구축 전문가 그룹"으로 총 관성질량 규모에서 세계 최대의 실험실을 구축하였고, 앞으로 그 기록을 계속 경신할 것입니다.
Reference 극저온 주사터널링현미경은 주변에서 인가되는 진동의 영향을 최소로 하기 위하여 목적 장비 전체 하중과 비교하여 10배 이상의 관성질량을 요구합니다.
관성질량과 시스템 전체를 지지하는 공압스프링(Pneumatic Support Frame)의 설계와 시공은 전체 시스템에 대한 충분한 이해와 풍부한 경험이 필요합니다.
2010년 한국과학기술원에서의 극저온 주사터널링현미경용 무진동실험실 구축공사를 시작으로 삼성종합기술원, 기초과학연구원 등 다양한 연구소에서 무진동 실험실 공사를 성공적으로 완료했습니다.
클린룸 내부의 뜬 바닥(Access Floor)구조를 나노 계측이 가능한 기초로 조성하는 독립기초 시설의 설계와 공사에도 차별화된 노하우가 있습니다.
고하중의 미세분석장비가 설치되는 실 전체를 주변에서 전달되는 진동외란을 원천적으로 차단하는 무진동 기초공사입니다.
청청룸 조성을 위하여 뜬바닥 구조(Access Floor)를 갖는 강성이 취약한 클린룸 바닥을 정밀 분석장비가 설치될 수 있는 독립기초를 구축하는 공사입니다.
