Overview   하나의 분석 결과를 얻기 위하여 짧게는 몇 시간 길게는 며칠이 걸리는 나노계측 및 분석 실험실은 분석장비 설치지 주변의 진동원에서 전파되는 진동을 원천적으로 차단할 필요가 있습니다.
특히, 나노(nano) 단위의 이미지를 분석하는 나노계측장비로 인가되는 마이크로(micro) 크기의 진폭을 갖는 진동 입력은 나노계측 및 분석에 가장 심각한 환경 외란 요소입니다.

목적장비의 형상과 하중을 고려한 관성 질량(Inertia Mass)을 선정하고, 진동 외란의 주파수 특성이 반영된 제진대의 설계 능력은 무진동 실험실 공사가 단순한 토목공사와 구별되어 요구되는 부분입니다.

(주)암텍은 국내 유일의 나노계측 무진동 실험실 전문가 그룹으로 2017년 총 관성 질량 규모에서 세계 최대의 실험실을 구축하였고, 앞으로 그 기록을 계속 경신할 것입니다.

Reference   극저온 STM은 설치지 주변에서 인가되는 진동의 영향을 최소로 하기 위하여 목적장비 전체 하중과 비교하여 10배 이상의 관성 질량을 요구합니다. 관성 질량의 제작과 시스템 전체를 지지할 수 있는 공압지지 프레임의 검토는 설계단계에서 가장 먼저 고려해야 할 부분입니다.

2010년 한국과학기술원(KAIST) 극저온 STM(Low Temperature STM) 무진동 실험실 구축공사를 시작으로 삼성종합기술원(기흥연구소 및 미래기술캠퍼스), 기초과학연구원(문지캠퍼스 및 포항공대)에서 무진동 실험실 공사를 성공적으로 완료했습니다.

신규 무진동실 구축공사 외에도 바닥 강성이 취약한 클린룸 내 뜬바닥(access floor) 구조를 나노계측이 가능한 기초로 조성하는 독립기초 시설의 설계와 공사에도 차별화된 노하우가 있습니다.