탁상형 능동형 제진대 (VAIS-AMT)

Overview  VAIS-AMT는 2007년 국내 최초로 상용화에 성공한 탁상형 능동형 제진대입니다.
 진동외란에 특히 취약한 원자력현미경(AFM) 적용을 목적으로 개발된 VAIS-AMT는 미진동 환경평가
 국제기준(IEST)의 VC-G Class를 만족시킬 수 있는 제진효율을 갖는 제품입니다.

 VAIS-AMT는 2007년 상용화에 성공한 후, 국내외 AFM 제조사의 철처한 성능검증을 완료하였고,
  다양한 나노계측 장비에 적용되어 우수한 성능을 입증하였습니다.
  공압식 수동형 제진대의 구조적 한계인 저주파 영역의 진동증폭(공진) 문제를 제거하고, 설치 및
  운전의 불편함을 해소한 VAIS-AMT는 수동형 제진대와 비교하여 가격 경쟁력까지 갖춘 제품입니다.

Technical advantages & Specifications

1. 간편한 설치와 이동  VAIS-AMT는 금속스프링 지지방식을 채용, 별도의 공압공급장치가 필요 없으므로 전원 공급장치만 준비된 장소라면 어느 곳에서도 간편하게 이동 및 설치가 가능합니다.

2. 피드포워드 제어   피드백제어와 함께 피드포워드제어 기법이 적용되어 10Hz이하 저주파 영역의 진동차단 능력이 우수합니다. 고층건물 설치 시, 수동형 제진대에서 문제가 되는 저주파 진동입력을 완벽하게 차단 합니다.

3. 직관적 상태확인   VAIS-AMT 전면패널에 설치된 3개의 LED는 주변 진동환경의 변화에 대한 정보를 제공하고 제품의 고장유무 진단을 복잡한 절차 없이 직관적으로 확인할 수 있습니다.

4. 간단한 현장조치   디지털제어방식을 채용한 VAIS-AMT는 능동형 제진대 상부의 무게중심 변화와 같은 운전조건 변경 시, 발생되는 문제를 고객 스스로 해결할 수 있도록 설계되었습니다.

Model Type AMT-045 AMT-056 AMT-067
Platform 규격 [mm] 400(W)X500(L) 500(W)X600(L) 600(W)X700(L)
제품무게 23 kg 37 kg 57 kg
탑재하중범위 0~150kg
Platform Type AL-plate(표준) / AL-plate with M-6 Tapped hole(선택)
제어주파수영역 0.5~1,000 Hz
제어방식 Feedback & Floor Feed forward
요구전압 50~230V (별도 전압변환기 필요없음)

Vibration isolation performance (Transmissibility)

공진주파수 영역(>1 Hz) 존재하지 않음
진동차단 성능 (Isolation efficiency)
2Hz -10dB (60% 제진)
5Hz -30dB (85% 제진)
10Hz -40dB (99% 제진)
20Hz 이상 -40dB (99% 제진)

공압식 수동형 제진대 VS VAIS-AMT 제진 성능비교 (3차원 높이측정기 간섭무늬 비교)

[공압식 제진대 상부에서 채집된 간섭무늬]

[VAIS-AMT 상부에서 채집된 간섭무늬]

1. Application note

(1) VAIS-AMT 시리즈는 이미지 채집에 비교적 오랜시간이 요구되고 탐침을 이용한 측정방식으로 지속적인 진동안정성이 필요한 AFM 적용을 목적으로 개발 되었습니다. 국내외 여러 AFM 제조사에서 철저한 성능검증 완료 후, 다양한 현장에서 안정된 진동환경 구축 솔루션으로 적용되고 있습니다.

(2) VAIS-AMT는 비교적 진동외란에 민감한 AFM에서의 풍부한 경험을 바탕으로, 높은 측정정밀도를 요구하는 고 해상도 광학현미경, 3차원 높이측정기, 탁상형 전자현미경 등으로 적용범위를 확대하고 있습니다.

(3) 나노계측 분석기에 널리 적용되고 있는 공압식 수동형 제진대의 공진문제를 완벽하게 제거하고 경쟁사 제품과 비교하여 가격 경쟁력을 갖는 VAIS-AMT 시리즈는 나노단위의 계측이 필요한 모든 분석장비에 안정적인 진동환경을 제공할 것입니다.


2. Target Instruments

  - Atomic Force Microscope (AFM)

  - Scanning Probe Microscope (SPM)

  - 3D surface measurement system

  - Table top SEM (Mini-SEM)

  - High precision optical microscope

  - Nano Indentation system

  - Nano measurement / Analysis instruments

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AMT-056 for KLA Nano-indentor
AMT-045 for AFMWORKSHOP TT-AFM
AMT-045 for NT-MDT Inverted AFM
AMT-045 for BRUKER Multimode
AMT-045 for Olympus OLS-4100
AMT-045 for NanoSystem 3D Suface Profiler
AMT-056 for COXEM Mini-SEM
AMT-045 for TomoCube HT series