Overview   VAIS-AMT는 2007년 국내 최초로 상용화에 성공한 탁상형(Table-Top) 능동형 제진대입니다.
진동 외란에 특히 취약한 원자력현미경(AFM) 적용을 목적으로 개발된 VAIS-AMT는 미진동 환경평가 국제기준(IEST)의 VC-G Class를 만족시킬 수 있는 제진 성능을 갖는 제품입니다.

VAIS-AMT는 2007년 상용화 성공 후, 국내외 AFM 제조사의 철저한 성능검증을 완료하였고 다양한 나노계측 장비에 적용되어 우수한 성능을 입증하였습니다.
수동형 제진대의 저주파 영역의 진동 증폭(공진) 문제를 제거하고, 설치와 운전의 불편함을 해소한 VAIS-AMT는 수동형 제진대와 비교하여 가격 경쟁력까지 갖춘 제품입니다.

1. 간편한 설치와 이동

금속 스프링 지지 방식이 적용되어 별도의 공압공급장치가 필요 없습니다.
전원 공급장치만 준비된 장소라면 어느 곳에서도 간편하게 이동 및 설치가 가능합니다.

2. 피드포워드 제어

피드백 제어와 함께 피드포워드 제어 기법이 적용되어 저주파 영역의 진동 차단 능력이 우수합니다. 수동형 제진대에서 문제가 되는 저주파 진동 외란을 완벽하게 차단합니다.

3. 직관적 상태 확인

전면 패널에 설치된 3개의 LED는 주변 진동 환경 변화에 대한 정보를 제공하고 제품의 고장 유무 진단을 복잡한 절차 없이 직관적으로 확인할 수 있습니다.

4. 간단한 현장조치

디지털 제어 방식을 채용하여 제진대 상부의 무게중심 변화와 같은 운전조건 변경으로 발생한 문제를 고객 스스로 해결할 수 있도록 설계되었습니다.

5. 원격제어 지원

엔지니어의 방문 없이 원격 통신 프로그램을 통하여 제어 변수의 조정, 상태 진단을 원격으로 실시간 지원이 가능합니다.

모델이름 AMT-045 AMT-056 AMT-067
상판규격 [mm] 396(W) X 496(L) 496(W) X 596(L) 596(W) X 696(L)
제품높이 [mm] 120
제품무게 [kg] 23 37 56
탑재하중범위 [kg] 0 ~ 60 0 ~ 150 0 ~ 130
상판종류 알루미늄(표준) / M-6 Hole가공 알루미늄 플레이트(선택)
제어주파수영역 [Hz] 0.5 ~ 1,000
제어자유도 3축 6자유도 제어 (Full Active System)
제어방식 Feedback & Floor Feed-Forward Control
필요전압 AC 90~230V / 50~60Hz

1. 진동전달율(Transmissibility) 및 주파수영역에서의 진동차단 성능

공진주파수 영역 ( > 1 Hz ) 존재하지 않음
진동차단 성능 (Isolation Efficiency)
2 Hz -10dB (60% 제진)
5 Hz -30dB (95% 제진)
10 Hz -35dB ~ -40dB (99% 제진)
20 Hz 이상 -35dB ~ -40dB (99% 제진)

2. 공압식 수동형제진대 vs VAIS-AMT 성능비교 (3차원 높이측정기 간섭무늬 비교)

[공압식 제진대 상부에서 채집된 간섭무늬]

[VAIS-AMT 상부에서 채집된 간섭무늬]

1. Application note

(1) VAIS-AMT는 이미지 채집에 비교적 오랜 시간이 요구되고 탐침을 이용한 측정방식으로 인하여 지속적인 진동 안정성이 필요한 AFM 적용을 목적으로 개발되었습니다.
국내외 여러 AFM 제조사에서 철저한 성능검증을 성공적으로 완료하고 다양한 현장에서 안정된 진동 환경 구축 솔루션으로 적용되고 있습니다.

(2) 진동 외란에 민감한 AFM에서의 경험을 바탕으로, 높은 측정 정밀도를 요구하는 고해상도 광학현미경, 탁상형 전자현미경, 3차원 높이측정기 등으로 적용 범위를 확대하고 있습니다.

(3) 정밀측정 장비에 널리 적용되고 있는 공압식 수동형 제진대가 갖는 공진 문제를 완벽하게 제거하고 경쟁사 제품과 비교하여 가격 경쟁력을 갖는 VAIS-AMT 시리즈는 나노 단위의 계측이 필요한 모든 분석 장비에 안정적인 진동 환경을 제공할 것입니다.

2.Target Instruments

  • Atomic Force Microscope (AFM)
  • Scanning Probe Microscope (SPM)
  • 3D Surface Measurement System
  • Table Top SEM (Mini-SEM)
  • High-Precision Optical Microscope
  • Nano Indentation System
  • Nano Measurement / Analysis Instruments
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AMT-056 for KLA Nano-indentation system
AMT-056 for COXEM Mini-SEM EM-30N
AMT-045 for KEYENCE Laser Microscope
AMT-056 for Inverted AFM
AMT-045 for OLYMPUS OLS-5100
AMT-045 for NanoSystem 3D Suface Profiler
AMT-045 for AFMWORKSHOP TT-AFM
AMT-045 for BRUKER AFM Multimode
AMT-045 for ZEISS Digital Microscope
AMT-045 for PARKSYSTEMS AFM XE-100
AMT-067 for Probe Station