Overview VAIS-SEi는 정밀측정에 영향을 미치는 환경 외란 차단을 위하여 개발된 다목적 방음 챔버입니다.
클린룸 내에 조성된 반도체 및 LCD 생산라인의 검사장비는 극심한 소음환경과 주변 진동원에서 인가되는 가혹한 진동에 지속적으로 노출되어 있습니다. 소음진동 외란에 대한 차단과 함께 일정 수준 이상의 청정도와 밀폐된 공간 내부의 항온 유지는 클린룸에서 사용되는 검사장비용 챔버가 반드시 갖추어야 할 조건입니다.
VAIS-SEi는 70dB(C) 이상의 클린룸 내부에서 발생된 소음 입력을 완벽히 차단하여 정숙한 소음환경과 목적장비가 요구하는 청정도 및 진동 환경을 조성시켜 주는 특수형 방음 챔버입니다.
VAIS-SEi는 암텍의 "특허받은 기술이 접목된 방음 챔버"입니다.
챔버 내부의 청정도 유지를 위하여 팬필터유닛(FFU) 시스템이 장착된 VAIS-SEi는 외부 소음차단은 물론 내부 팬소음을 목표수준으로 저감시켜 주는 제품입니다.
능동형 제진시스템이 결합되고 항온유지를 위한 냉각시스템까지 설치될 수 있는 VAIS-SEi는 어떠한 환경외란도 차단할 수 있는 암텍의 모든 기술이 집대성된 제품입니다.
클린룸 내부의 열악한 소음환경을 완벽하게 차단하는 6중(Layers) 흡/차음재 배치를 통하여 목적장비가 요구하는 소음환경을 조성합니다.
특허받은 팬필터유닛(FFU) 시스템이 장착되어 챔버 내부는 요구 수준의 청정도를 유지시키면서 팬 소음의 영향까지 제거하였습니다.
밀폐된 챔버 내부의 온도 상승을 방지하기 위하여, 별도로 칠러를 장착하여 내부 발열에 의한 온도 상승을 억제합니다.
암텍의 능동형 제진기술을 접목시켜, 방음, 항온, 청정도 유지 기능과 함께 설치지 주변에서 인가되는 진동 외란을 완벽하게 차단할 수 있습니다.
챔버 내부에 알루미늄 판재 흡음재를 설치하여 기본적인 교류 전파를 차단하고 필요한 경우 능동형 전자파 차폐 코일을 통한 능동 차폐 기능을 추가하여 DC에 근접하는 자장(Magnetic Field Interferience)의 차폐까지 가능합니다.
