반도체 생산라인에 설치된 검사장비는 극심한 소음과 주변 진동원에서 인가되는 가혹한 진동에 지속적으로 노출되어 있습니다.

정숙한 소음진동환경과 함께 일정 수준의 청정도 및 항온유지는 클린룸에서 사용되는 검사장비용 챔버가 반드시 갖추어야 할 조건입니다.

VAIS-SEi는 특허받은 기술이 접목된 제품으로 내부 청정도와 항온 유지 기능을 갖는 방음챔버 입니다.

능동형 제진시스템이 결합되고 항온유지 및 청정도 조절 기능을 갖는 VAIS-SEi는 극심한 환경조건에도 최적의 환경을 유지할 수 있는 제품입니다.

1. 6중 차폐구조

클린룸 내부의 열악한 소음환경을 완벽하게 차단하는 6중 흡/차음재 배치를 통하여 정숙한 소음환경을 조성합니다.

2. 청정도 유지 기능

특허받은 팬필터유닛(FFU) 시스템은 챔버 내부는 요구수준의 청정도를 유지하면서 팬 소음의 영향을 제거합니다.

3. 항온기능

챔부 내부의 온도 상승을 방지하기 위한 칠러 시스템은 밀폐된 공간에서 내부 발열에도 설정된 온도를 유지 시켜줍니다.

4. 진동차단 시스템

(주)암텍의 능동형 진동제어 기술을 접목시켜 설치지 주변에서 인가되는 진동외란을 완벽하게 차단합니다.