팬필터유닛(FFU) 시스템이 결합된 방음챔버 (VAIS-SEi)

Overview  VAIS-SEi는 팬필터유닛(FFU)시스템이 결합된 방음챔버입니다.
 클린룸 내에 조성된 반도체 및 LCD 생산라인의 검사장비는 극심한 소음환경에 대한 차폐와
 일정 수준이상의 청정도 유지가 요구됩니다.
 VAIS-SEi는 70dB(C)이상의 클린룸 내부 소음입력을 완벽하게 차단시키고, 목적장비의 요구
 청정도를 만족시킬 수 있는 특수형 방음챔버입니다.

 VAIS-SEi는 암텍의 특허받은 기술이 접목된 방음챔버입니다.
  외부의 열악한 소음에 대하여 요구수준의 정숙한 소음환경을 조성하고, 청정도를 유지하면서
  밀폐된 공간에서 문제가 될 수 있는 항온기능을 갖습니다.
  소음차폐, 청정도유지 및 항온기능 외에도 암텍의 능동형 제진기술을 접목할 수 있는 세계에서
  유일한 방음챔버입니다.

Technical advantages

1. 6중 소음 차폐구조  클린룸 내부의 열악한 소음환경을 완벽하게 차단하는 6 layers
흡/차음재 배치를 통하여 목적장비가 요구하는 소음환경을 조성합니다.

2. 청정도 유지기능   특허받은 팬필터유닛(FFU) 시스템이 장착되어 챔버내부를 요구
수준의 청정도를 유지시키면서 팬소음의 영향을 제거하였습니다.

3. 항온기능   밀폐된 챔버내부의 온도상승을 방지하기 위하여, 별도의 칠러를 장착하여,
내부 발열에 의한 온도상승을 억제합니다.

4. 진동차단 기능   암텍의 능동형 제진기술을 접목시켜, 방음, 항온, 청정도 유지기능과
함께 설치지 주변의 진동입력을 완벽하게 차단할 수 있습니다.