Overview   VAIS-PMT는 세계 유일의 방음 챔버 일체형 공압식 능동형 제진시스템입니다.
나노계측 장비는 바닥에서 전달되는 진동 입력뿐만 아니라 공기로 전달되는 소음과 기류의 영향에도 매우 취약합니다.
VAIS-PMT는 고체 구조물을 통하여 전달되는 진동 외란을 차단하기 위한 능동형 제진대와 공기를 통하여 전파되는 소음과 기류 영향을 제거하는 방음 챔버가 일체형으로 구성된 제품입니다.

VAIS-PMT는 공압스프링 기반의 능동형 제진 프레임이 적용되어 설치지 주변에서 비주기적으로 발생되는 가혹한 충격진동에도 지속적으로 안정적인 진동 환경을 제공합니다.
다층구조의 흡/차음재로 구성된 방음 챔버는 주변 공조시스템에서 유입되는 기류가 목적장비에 직접 전달되는 것을 차단하고, 소음의 영향을 완벽하게 제거합니다.

1. 공압 지지 프레임

공압 지지 프레임이 적용된 VAIS-PMT는 금속 스프링 지지 방식의 경쟁사 모델과 비교하여 충격 진동에 훨씬 강인한 특성이 있습니다.

2. 피드포워드 제어

피드백 제어와 함께 피드포워드 제어 기법이 적용되어 10Hz 이하 저주파 영역의 진동 외란에 대한 차단 능력이 우수합니다.

3. 직관적 상태 확인

전면 패널에 설치된 3개의 LED는 주변 진동 환경 변화에 대한 정보를 제공하고 제품의 고장 유무 진단을 복잡한 절차 없이 직관적으로 확인할 수 있습니다.

4. 다층 벽체 방음 챔버

방음 챔버의 다층 구조 벽체는 기류의 영향을 제거하고, 고주파 영역의 소음은 물론 파장인 긴 저주파 영역 소음을 차단하여 완벽한 측정환경을 제공합니다.

5. 원격제어 지원

엔지니어의 방문 없이 원격통신 프로그램을 통하여 제어 변수의 조정, 상태 진단을 원격으로 실시간 지원이 가능합니다.

제품규격(표준) 610(W) X 730(L) X 895(H) [mm]
상판(플랫폼)종류 고정도 석정반 (표준) / Breadboard (선택)
탑재하중(표준) 0 ~ 150 kg (요청에 따라 변경가능)
지지프레임 방식 공압스프링 지지방식
제어주파수 영역 0.5 ~ 1000Hz
제어방식 Feedback & Floor Feed-Forward Control
제어자유도 3축 6자유도 (3 axis / 6 DOFs)
도어개폐방식 고정밀 공압 쇼바 (pneumatic absorber) 적용
필요공압 0.5 MPa 이상
필요전압 AC 90 ~ 230V / 50 ~ 60Hz

1. 진동전달율(Transmissibility) 및 주파수영역에서의 진동 차단성능

공진주파수 영역 ( >1 Hz ) 존재하지 않음
진동차단 성능 (Isolation Efficiency)
2 Hz -10dB (60% 제진)
5 Hz -30dB (95% 제진)
10 Hz -40dB (99% 제진)
20 Hz 이상 -40dB (99% 제진)

2. 방음챔버 소음차단 성능(Transmission Loss) 및 주파수영역에서의 차음성능

Frequency Noise Reduction Frequency Noise Reduction
63 Hz 12 dB 1000 Hz 41 dB
125 Hz 28 dB 2000 Hz 41 dB
250 Hz 29 dB 4000 Hz 42 dB
500 Hz 32 dB 8000 Hz 44 dB

1. Application note

(1) 고체 구조물을 통하여 전달되는 진동(structure-borne noise : vibration)은 다른 환경 외란과 비교하여 파장이 길고 에너지가 큰 외란으로 반드시 차단되어야 합니다.

(2) 공기를 매질로 전달되는 소음(air-borne vibration : noise)은 목적장비에 전달되는 에너지의 크기는 작지만 현미경의 측정 포인트에 직접 전달되는 특성으로 인하여 현미경의 이미지 왜곡에 치명적인 영향이 있습니다.

(3) 공조(HVAC) 시스템에서 방사되는 기류 역시 측정 포인트에 직접 전달되므로 안정적인 측정환경 조성을 위하여 소음과 함께 적절한 조치가 반드시 마련되어야 합니다.

(4) VAIS-PMT는 하나의 제품으로 바닥에서 전달되는 진동을 차단하고, 공기를 통하여 전달되는 소음과 기류의 영향을 제거하여 환경 외란에 민감한 나노분석 장비에 최적화된 제품입니다.

2. Target instruments

  • Atomic Force Microscope (AFM)
  • Scanning Probe Microscope (SPM)
  • 3D Surface Measurement System
  • High-Precision Optical Microscope
  • Nano Indentation System
  • Nano Measurement / Analysis Instruments
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VAIS-PMT for BRUKER Dimension Icon
VAIS-PMT for BRUKER MultiMode8
VAIS-PMT for BRUKER Dimension Fast Scan
VAIS-PMT for BRUKER-JPK Bio-AFM
VAIS-PMT for Asylum Research AM-IX73
VAIS-PMT for Parksystems XE-70