방음챔버 일체형 능동형 제진대 (VAIS-PMT)

Overview  VAIS-PMT는 세계 유일의 방음챔버 일체형 공압식 능동형 제진시스템입니다. 나노계측 장비는 설치지 바닥에서 전달되는 진동입력뿐만 아니라 공기를 통하여 전달되는 소음과 기류에 의한 영향에 매우 취약합니다. VAIS-PMT는 진동입력을 차단하는 능동형 제진대와 공기로 전파되는 소음과 기류영향을 제거하는 방음챔버가 일체형으로 구성된 제품입니다.

 VAIS-PMT는 공압지지 기반의 능동형 제진프레임이 적용되어 설치지 주변에서 비주기적으로 발생되는 충격진동 입력에 강인한 특성이 있어 지속적으로 안정적인 진동환경을 제공합니다.
6중 흡차음 구조의 벽체로 구성된 방음챔버는 주변 공조시스템에서 유입되는 기류가 목적장비에 직접 전달되는 것을 차단하고, 소음의 영향을 완벽하게 제거합니다.

Technical advantages & Specifications

1. 공압지지 프레임   공압지지 프레임이 적용된 VAIS-PMT는 금속스프링
지지방식의 경쟁사 모델과 비교하여 설치지 주변에서 인가되는 충격 진동에 훨씬 강인한 특성이 있습니다.

2. 피드포워드 제어   피드백제어와 함께 피드포워드제어 기법이 적용되어 건물의 구조진동이 밀집되어 있는 10Hz 이하의 저주파영역 진동차단 능력이 우수합니다.

3. 직관적 상태확인   VAIS-PMT 전면패널에 설치된 3개의 LED는 주변 진동환경의 변화에 대한 정보를 제공하고 제품의 고장유무 진단을 복잡한 절차 없이 직관적으로 확인할 수 있습니다.

4. 다층벽체 방음챔버   6층으로 구성된 방음챔버의 벽체는 기류의 영향을 제거하고, 고주파영역의 소음은 물론 파장인 긴 저주파 영역 소음을 차단하여,
완벽한 측정환경을 제공합니다.

제품규격* 610(W)X730(L)X895(H)** [mm]
Platform Type 고정도 석정반 (표준) / Breadboard (선택)
최대 탑재하중*** 150 kg (표준모델)
지지프레임 방식 공압스프링 지지방식
방음챔버 도어개폐방식 고정밀 공압 쇼바(pneumatic absorber) 적용
요구공압 5 bar 이상
요구전압 50~230V (별도 전압변환기 필요없음)

* 고객의 요청에 따라 다양한 형태와 규격으로 제작이 가능합니다.
** W X L : Platform 규격 / H : 방음챔버 내부 높이
*** 고객의 요청에 최대 탑재하중 범위의 조정이 가능합니다.

1. Vibration isolation performance of active isolation frame

공진주파수 영역(>1 Hz) 존재하지 않음
진동차단 성능 (Isolation efficiency)
2Hz -10dB (60% 제진)
5Hz -30dB (85% 제진)
10Hz -40dB (99% 제진)
20Hz 이상 -40dB (99% 제진)

2. Noise isolation performance of anti-noise chamber

frequency noise reduction frequency noise reduction
63 Hz 14 dB 1000 Hz 41 dB
125 Hz 28 dB 2000 Hz 41 dB
250 Hz 29 dB 4000 Hz 42 dB
500 Hz 32 dB 8000 Hz 44 dB

1. Application note

(1) 고체구조물을 통하여 전달되는 진동(structure-borne noise : vibration)은 다른 환경외란과 비교하여 파장이 길고 에너지가 큰 외란으로 반드시 차단되어야 합니다.

(2) 진동과 비교하여 공기를 매질로 전달되는 소음(air-borne vibration : noise)은 상대적으로 목적장비에 전달되는 에너지의 크기는 작지만 현미경의 측정포인트에 직접 전달되는 특성상 현미경의 이미지 왜곡에 엄청난 영향이 있습니다.

(3) 설치지 주변의 공조시스템(HVAC)에서 방사되는 기류 역시 현미경의 측정 포인트에 직접 전달되므로 안정적인 측정환경 조성을 위하여 소음과 함께 적절한 조치가 마련되어야 합니다.

(4) VAIS-PMT는 하나의 제품으로 바닥에서 전달되는 진동을 차단하고, 공기를 통하여 전달되는 소음과 기류의 영향을 제거하여 환경외란에 민감한 나노분석 장비에 최적화된 제품입니다.


2. Target Instruments

  - Atomic Force Microscope (AFM)

  - Scanning Probe Microscope (SPM)

  - 3D surface measurement system

  - High precision optical microscope

  - Nano Indentation system

  - Nano measurement / Analysis instruments

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VAIS-PMT for BRUKER Dimension Icon
VAIS-PMT for BRUKER MultiMode8
VAIS-PMT for BRUKER Dimension Fast Scan
VAIS-PMT for Parksystems XE-70
VAIS-PMT for Asylum Research AM-IX73