전자현미경용 능동형 제진대 (VAIS-PB)

Overview  전자현미경은 설치지 바닥을 비롯한 고체구조물을 통하여 전달되는 진동외란에 특히 취약한 구조를 가지고 있습니다. 100만배 이상의 고배율 관찰에 적용되는 전자현미경의 경우 구조적으로 공진영역이 존재하는 수동형 제진대로는 목표성능 달성이 불가능합니다.

VAIS-PB는 공진에 의한 진동증폭 현상이 없는 전자현미경에 최적화된 능동형제진대 입니다.
감쇠특성이 우수한 공압지지 프레임이 적용된 VAIS-PB는 금속스프링 지지방식의 경쟁사 제품과 비교하여 설치지 주변에서 비주기적으로 발생되는 충격진동에도 지속적인 진동안정성을 확보할 수 있습니다.
2014년 국내 최초로 상용화에 성공한 이후 국내뿐만 아니라 해외 시장에서 주요 전자현미경사 제품에 성공적으로 적용되어 그 성능을 입증받고 있습니다.

Technical advantages & Specifications

1. 공압지지 프레임   공압지지 프레임이 적용된 VAIS-PB는 금속스프링 지지방식의 경쟁사 모델과 비교하여 설치지 주변에서 인가되는 충격 진동에 훨씬 강인한 특성이 있습니다.

2. 피드포워드 제어   피드백제어와 함께 피드포워드제어 기법이 적용되어 전자현미경에 취약한 10Hz 이하의 저주파영역 진동차단 능력이 매우 우수합니다.

3. 직관적 상태확인   VAIS-PB 전면패널에 설치된 3개의 LED는 주변 진동환경의 변화에 대한 정보를 제공하고 제품의 고장유무 진단을 복잡한 절차없이 직관적으로 확인할 수 있습니다.

4. 자동 높이조절   기계식 높이 조절센서가 내장되어 전자현미경 무게중심이 치우친 경우에도 자동으로 수평이 유지됩니다.

제어 자유도       3축 6자유도
제어 주파수영역       0.5~1,000Hz
제어방식       Feedback & Floor Feed-forward
허용 탑재하중       0~2,500kg
높이조절       기계식 레벨센서를 통한 자동조절
요구공압       5 bar 이상

Vibration isolation performance (Transmissibility)

공진주파수 영역(>1 Hz) 존재하지 않음
진동차단 성능 (Isolation efficiency)
2Hz -10dB (60% 제진)
5Hz -30dB (85% 제진)
10Hz -40dB (99% 제진)
20Hz 이상 -40dB (99% 제진)

1. Application note

(1) 전자현미경과 집속이온빔(FIB)시스템은 공압식 수동형 제진대가 내장되어 있으므로 저주파영역의 진동에 대한 완벽한 차단이 필요합니다. 특히, 건물의 구조진동이 밀집되어 있는 10Hz이하의 진동입력은 전자현미경에 내장된 공압제진대의 공진을 유발하여 능동형 제진대의 적용이 필연적으로 요구됩니다.

(2) VAIS-PB는 2014년 FEI사 전자현미경 Quanta 250FEG 적용한 이후 Hitachi, Zeiss, Tescan 및 Jeol사의 전자현미경과 FIB에 적용되어 우수한 성능을 입증해오고 있습니다.

(3) 감쇠능력이 우수한 공압식 지지프레임을 채용한 VAIS-PB는 비정상적인 진동입력에도 지속적으로 안정된 진동환경을 제공할 수 있어 전자현미경에 최적화된 능동형 제진시스템입니다.

(4) 큰 하중을 지지할 수 있는 공기스프링을 적용하여 비교적 경량의 주사전자현미경 및 FIB 외에도 고하중의 투과전자현미경과 무게중심이 높은 주사터널링현미경(STM)에도 안정적으로 적용되고 있습니다.


2. Target Instruments

  - Scanning Electron Microscope (SEM)

  - Focused Ion Beam (FIB)

  - Transmission Electron Microscope (TEM)

  - Scanning Tunneling Microscope (STM)

  - Heavy load precision instrument

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VAIS-PB for ThermoFisher Helios
VAIS-PB for ThermoFisher Quattro
VAIS-PB for ThermoFisher Helios
VAIS-PB for ThermoFisher Verios
VAIS-PB for Tescan MAIA3
VAIS-PB for Zeiss Sigma 300
VAIS-PB for Hitachi SU-3500
VAIS-PB for Hitachi Regulus 8100