
VAIS-PB
Base platform type
pneumatic active anti-vibration system
for SEM, TEM, FIB
전자현미경용 능동형 제진대 (VAIS-PB)
전자현미경은 고체구조물을 통하여 전달되는 진동외란에 취약한 구조를 가지고 있습니다.
구조적으로 공진(Resonance)영역이 존재하는 수동형 제진대는 고해상도 전자현미경의 목표성능 달성에 심각한 문제를 유발합니다.
VAIS-PB는 공진에 의한 진동증폭 현상이 없는 "전자현미경에 최적화된 능동형 제진대"입니다.
감쇠특성이 우수한 공압지지프레임이 적용된 VAIS-PB는 금속 스프링 지지방식의 경쟁사 제품과 비교하여 충격진동에도 지속적인 진동안정성을 제공합니다.
2014년 국내 최초로 상용화 성공한 이후, 국내 시장뿐만 아니라 해외시장에서 주요 전자현미경 제조사의 제품에 성공적으로 적용되어 그 성능을 입증받고 있습니다.
Specifications
1. 공압지지프레임
공압지지프레임을 적용하여 금속스프링 지지방식의 경쟁사 모델보다 가혹한 충격진동에 훨씬 강인한 특성을 갖습니다.
2. 우수한 저주파 진동 차단피드백제어와 함께 피드포워드 제어기술이 적용되어 10Hz 이하 저주파 영역의 진동외란에 대한 차단 능력이 우수합니다.
3. 직관적 상태확인전면 LED를 통하여 주변 진동환경과 제품의 고장유무를 직관적으로 확인할 수 있습니다.
4. 자동 높이조절높이 조절 센서를 통하여 무게중심이 치우친 경우에도 자동으로 수평이 유지됩니다.
5. 원격제어 지원엔지니어의 방문 없이도 제어 변수의 조정과 상태 진단이 가능한 원격 제어 기능을 제공합니다.
모델명 | Type 1 | Type 2 |
---|---|---|
제품규격 [mm] | 900(W) X 1100(L) X 230(H) | 1000(W) X 1400(L) X 230(H) |
지지프레임 | 고감쇠 공압스프링 | |
구동력 | 수직 80N 이상 / 수평 50N 이상 | |
제어주파수 | 0.5~1000Hz | |
제어자유도 | 3축 6자유도 | |
필요공압 | 0.5MPa 이상 | |
필요전압 | AC 90~230V / 50~60Hz |
※ 요청에 따라 변경된 규격으로 제작이 가능합니다.
도면 확인하기Applications

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