Overview   전자현미경은 설치지 바닥을 비롯한 고체 구조물을 통하여 전달되는 진동 외란에 취약한 구조를 가지고 있습니다. 고해상도 이미지 관찰에 사용되는 전자현미경은 구조적으로 공진(Resonance) 영역이 존재하는 수동형 제진대로는 목표 성능 달성이 불가능합니다.

VAIS-PB는 공진에 의한 진동 증폭 현상이 없는 "전자현미경에 최적화된 능동형제진대" 입니다.
감쇠 특성이 우수한 공압 지지 프레임이 적용된 VAIS-PB는 금속 스프링 지지 방식의 경쟁사 제품과 비교하여 설치지 주변에서 비주기적으로 발생되는 충격진동에도 지속적인 진동 안정성을 확보할 수 있습니다.
2014년 국내 최초로 상용화에 성공한 후, 국내 시장뿐만 아니라 해외시장에서 주요 전자현미경 제조사의 제품에 성공적으로 적용되어 그 성능을 입증받고 있습니다.

1. 공압 지지 프레임

공압 지지 프레임을 적용한 VAIS-PB는 금속 스프링 지지 방식의 경쟁사 모델과 비교하여 가혹한 충격 진동에 훨씬 강인한 특성을 보입니다.

2. 피드포워드 제어

피드백 제어와 함께 피드포워드 제어기법이 적용되어 10Hz 이하 저주파 영역의 진동 외란에 대한 차단 능력이 매우 우수합니다.

3. 직관적 상태 확인

전면 패널의 3개의 LED를 통하여 주변 진동 환경 변화에 대한 정보와 제품의 고장 유무 진단을 복잡한 절차 없이 직관적으로 확인할 수 있습니다.

4. 자동 높이 조절

기계식 높이 조절 센서를 통하여 제진대 상부의 무게중심이 치우친 경우에도 자동으로 수평이 유지됩니다.

5. 원격제어 지원

엔지니어의 방문 없이 원격 통신 프로그램을 통하여 제어 변수의 조정, 상태 진단을 원격으로 실시간 지원이 가능합니다.

제어 자유도 3축 6자유도 (3 axis / 6 DOFs)
제어 주파수영역 0.5 ~ 1,000Hz
제어방식 Feedback & Floor Feed-Forward Control
구동력 수직(Vertical) 80N / 수평(Horizontal) 50N
허용 탑재하중 0 ~ 2,500kg
지지(Support)프레임 고(高)감쇠(High Damped) 공압스프링
높이조절 기계식 레벨링 밸브를 이용한 자동조절
필요공압 0.5 MPa 이상
필요전력 AC 90~240V / 50~60Hz

█ 진동전달율(Transmissibility) 및 주파수영역에서의 진동차단 성능

공진주파수 영역 ( >1 Hz ) 존재하지 않음
진동차단 성능 (Isolation Efficiency)
2 Hz -10dB (60% 제진)
5 Hz -30dB (95% 제진)
10 Hz -40dB (99% 제진)
20 Hz 이상 -40dB (99% 제진)

1. Application note

(1) 전자현미경과 집속이온빔시스템(FIB)은 공압식 수동형제진대가 내장되어 있으므로 저주파 영역의 진동에 대한 완벽한 차단이 필요합니다.
건물의 구조 진동이 밀집되어 있는 10Hz 이하의 진동 입력은 전자현미경에 내장된 공압 제진대의 공진을 유발하여 능동형 제진대의 적용이 필수적으로 요구됩니다.

(2) VAIS-PB는 2014년 상용화에 성공한 후, 세계 주요 전자현미경 제조사의 다양한 제품에 적용되어 우수한 성능을 입증해오고 있습니다.

(3) 감쇠 능력이 우수한 공압식 지지 프레임을 적용한 VAIS-PB는 비주기적으로 발생되는 가혹한 충격진동 입력에도 지속적으로 안정된 진동 환경을 제공할 수 있어 전자현미경에 최적화된 능동형 제진시스템입니다.

(4) 큰 하중을 지지할 수 있는 공기스프링을 적용하여 비교적 경량의 주사전자현미경 및 FIB 외에도 고하중의 투과전자현미경(TEM)과 무게중심이 높은 주사터널링현미경(STM)에도 안정적으로 적용되고 있습니다.

2.Target Instruments

  • Scanning Electron Microscope (SEM)
  • Focused Ion Beam (FIB)
  • Transmission Electron Microscope (TEM)
  • Scanning Tunneling Microscope (STM)
  • Heavy load precision instrument
1 / 9
2 / 9
3 / 9
4 / 9
5 / 9
6 / 9
7 / 9
8 / 9
9 / 9

VAIS-PB for ThermoFisher Helios with Chamber
VAIS-PB for ThermoFisher Apreo-S
VAIS-PB for ThermoFisher Verios
VAIS-PB for ThermoFisher Quattro
VAIS-PB for Tescan MAIA3
VAIS-PB for Zeiss Sigma 300
VAIS-PB for Hitachi Regulus 8100
VAIS-PB for Jeol JAMP 9510F
VAIS-PB for Inkjet PCB inspection