VAIS-PB

Pneumatic Active Vibration Isolation System
for SEM, TEM, FIB

전자현미경은 고체구조물을 통하여 전달되는 진동 외란에 취약한 구조를 가지고 있습니다.
구조적으로 공진 영역(resonance)이 존재하는 수동형 제진대는 고해상도 전자현미경의 목표 성능 달성에 심각한 문제를 유발합니다.

VAIS-PB는 공진에 의한 진동 증폭 현상이 없는 "전자현미경에 최적화된 능동형 제진대"입니다.

감쇠특성이 우수한 공압 지지 프레임이 적용된 VAIS-PB는 금속 스프링 지지 방식의 경쟁사 제품과 비교하여 충격 진동에도 지속적인 진동 안정성을 제공합니다.

2014년 국내 최초로 상용화 성공한 이후, 국내 시장뿐만 아니라 해외시장에서 주요 전자현미경 제조사의 제품에 성공적으로 적용되어 그 성능을 입증받고 있습니다.

1. 공압 지지 프레임

공압 지지 프레임을 적용하여 금속 스프링 지지 방식의 경쟁사 모델보다 가혹한 충격 진동에 훨씬 강인한 특성을 갖습니다.

2. 우수한 저주파 진동 차단

피드백 제어와 함께 피드포워드 제어 기술이 적용되어 10 Hz 이하 저주파 영역의 진동 외란에 대한 차단 능력이 우수합니다.

3. 직관적 상태 확인

전면 LED를 통하여 주변 진동 환경과 제품의 고장 유무를 직관적으로 확인할 수 있습니다.

4. 자동 높이 조절

높이 조절 센서를 통하여 무게 중심이 치우친 경우에도 자동으로 수평이 유지됩니다.

5. 원격 제어 지원

엔지니어의 방문 없이도 제어 변수의 조정과 상태 진단이 가능한 원격 제어 기능을 제공합니다.